Sloučený vakuometr Model ZDF-62B5 se skládá ze 2 sad jednotek pro měření nízkého vakua a 1 sady jednotek pro měření vysokého vakua. K dosažení měření se používá jedna jednotka odporového měřidla (RG 2) (1,0 × 10E5Pa~1,0 × 10E-7 Pa) nezávisle na tom, jednotkou odporového měřidla (RG1) v kombinaci s ionizačním měřidlem jako složenou jednotkou je dosáhnout kontinuální kontroly a měření (1 × 10E5~1 × 10E-7 Pa).