Výhody:
Tato řada čerpadel má dobrý výkon v drsném prostředí (vysoká teplota, prašnost atd.), Stabilní výkon a dlouhou životnost, jednoduchou údržbu a pohodlný provoz.
Aplikace:
Hlavní aplikace jsou v průmyslové detekci netěsností, PVD, CVD, iontové implantaci, výrobě vakuových elektronických součástek, skla s nízkým E, ITO skla, optických povlaků, solárních článků, svařování elektronovým paprskem, vakuové pece a dalších průmyslových odvětvích
Specifikace:
Příruba (V) | DN400 ISO-K | Plyn po celou dobu (sccm) | N2: 5500 |
Příruba (Výstup) KF | DN100 | On 4000 | |
Rychlost čerpání (L/s) | N23500. | H23200 | |
On 2650 | Ar : 2100 | ||
H280 1280 | Rychlost otáčení (ot / min) | 13500 | |
Ar : 3200 | Doba rozběhu (min) | ≤18 | |
Kompresní poměr | N2: 108 | Typ chlazení, standardní | Voda |
On 103 | Spotřeba chladicí vody (L/min) | ≥1 | |
H2: 102 | Teplota chladicí vody (℃) | ≤25 | |
Ar : 108 | Připojení napájení: Napětí (V AC) | DC24/AC220 | |
Ultimated Pressure (Pa) | 6 × 10-6 | Max. Spotřeba energie (W) | ≤ 1100 |
Max. Kontinuální tlak před vakuem (Pa) | 100 | Model ovladače | FD-III |
Max. Tlak před vakuem | N2300 | Hmotnost (kg) | 130 |