Technologie:
- Technologie řízení magnetického ložiska: 5osý magneticky levitovaný, založený na pokročilé mezinárodní teorii řízení, aby zaručil tak významné výhody vysokorychlostního hřídele, jako je stabilní levitovaný a spolehlivý provoz.
- Technologie řízení pohonu motoru: Vysoce účinný vysokorychlostní stejnosměrný motor a řídicí systém serv, které mají maximální energii motoru a automaticky kompenzují otáčky hřídele, čímž je zajištěn stabilní rozběh, spolehlivý provoz a funkce automatické regulace dynamické energie.
- Technologie rotoru z uhlíkových vláken: Vyrobeno spojením vysokopevnostní hliníkové slitiny a lehkých uhlíkových vláken. charakterizované velkým snížením hmotnosti a velkým zlepšením pevnosti, takže jsou dosaženy cíle vysoké rychlosti otáčení, vysokého výkonu a vysoké spolehlivosti.
- Technologie odolná proti korozi: Povrchy dílů v komorách jsou ošetřeny speciálním procesem, takže povrchy mohou dlouhodobě odolávat korozi způsobené korozivními plyny při výrobě polovodičů. Kromě toho jsou inertní plyny, jako je N2, plně naplněny v hřídeli čerpadel, aby chránily části s nízkým vakuem v čerpadlech, takže je realizována funkce stabilně vyčerpávajících korozivních plynů po dlouhou dobu.
- Systém regulace teploty topení: vybavené elektrickým ohřívačem a regulátorem teploty, chladicí voda, ohřev vzduchových kostí, elektrický ohřev a teplo přenášené ochrannými plyny lze monitorovat a řídit během provozu, teplotu v čerpadlech lze dlouhodobě udržovat na určité hodnotě, některá plynná látky se při normální teplotě nepřeměňují na pevné látky a neukládají se v pumpách a lze splnit požadavky na speciální proces, jako je leptání.
Výhody:
Tato čerpadla mají výhody, jako je nulové tření během provozu a nízká spotřeba energie, snadné získání skutečně čistého vysokého vakua a ultra vysokého vakua bez mazání čerpadel, schopnost dlouhodobého odsávání korozivních plynů, vysoká bezpečnost a dlouhá životnost díky ochraně ložisek s přesnými keramickými kuličkami a funkcí generující energii v případě náhlého vypnutí. Má výhody bez tření, znečištění a údržby a s nízkými vibracemi a lze jej instalovat v jakékoli orientaci.
Aplikace:
Extrakce korozivních plynů existujících v implantacích etch, CVD, PVD a iontů a plynů snadno koagulovatelných při normální teplotě v oblasti výroby polovodičů, výroby spon, průmyslového pokovování a vědeckých nástrojů, zejména.
Specifikace:
Modelka |
CXF-250/2301 |
Rychlost čerpadla (l/s, vzduch) |
2200 |
Kompresní poměr |
> 1 × 107 |
Maximální vakuum (Pa) |
≤2 × 10-7 |
Vstupní příruba |
DN250 ISO F |
DN250 CF |
Výstupní příruba |
KF 40 |
Rychlost otáčení (ot / min) |
30000 |
Doba rozběhu (min) |
8 |
VIB (mm) |
<0,05 |
Zpětné čerpadlo (L/s) |
15 |
Montáž nebo zarážka |
Žádný |
Způsob chlazení |
Voda |
Hmotnost (kg) (s ovladačem) |
58 |