Čerpadlo Maglev, CXF-250/2301E, ISO-K/CF, vodní chlazení na palubě

Stručný popis:

Magneticky levitovaná molekulární čerpadla jsou čerpadla, jejichž hřídel je podporována magnetickou silou a splňuje aplikační požadavky v oblastech moderní výroby polovodičů, výroby čipů, průmyslového pokovování a vědeckých přístrojů.


Detail produktu

Značky produktů

Technologie:

  • Technologie řízení magnetického ložiska: 5osý magneticky levitovaný, založený na pokročilé mezinárodní teorii řízení, aby zaručil tak významné výhody vysokorychlostního hřídele, jako je stabilní levitovaný a spolehlivý provoz.
  • Technologie řízení pohonu motoru: Vysoce účinný vysokorychlostní stejnosměrný motor a řídicí systém serv, které mají maximální energii motoru a automaticky kompenzují otáčky hřídele, čímž je zajištěn stabilní rozběh, spolehlivý provoz a funkce automatické regulace dynamické energie.
  • Technologie rotoru z uhlíkových vláken: Vyrobeno spojením vysokopevnostní hliníkové slitiny a lehkých uhlíkových vláken. charakterizované velkým snížením hmotnosti a velkým zlepšením pevnosti, takže jsou dosaženy cíle vysoké rychlosti otáčení, vysokého výkonu a vysoké spolehlivosti.
  • Technologie odolná proti korozi: Povrchy dílů v komorách jsou ošetřeny speciálním procesem, takže povrchy mohou dlouhodobě odolávat korozi způsobené korozivními plyny při výrobě polovodičů. Kromě toho jsou inertní plyny, jako je N2, plně naplněny v hřídeli čerpadel, aby chránily části s nízkým vakuem v čerpadlech, takže je realizována funkce stabilně vyčerpávajících korozivních plynů po dlouhou dobu.
  • Systém regulace teploty topení: vybavené elektrickým ohřívačem a regulátorem teploty, chladicí voda, ohřev vzduchových kostí, elektrický ohřev a teplo přenášené ochrannými plyny lze monitorovat a řídit během provozu, teplotu v čerpadlech lze dlouhodobě udržovat na určité hodnotě, některá plynná látky se při normální teplotě nepřeměňují na pevné látky a neukládají se v pumpách a lze splnit požadavky na speciální proces, jako je leptání.

Výhody:

Tato čerpadla mají výhody, jako je nulové tření během provozu a nízká spotřeba energie, snadné získání skutečně čistého vysokého vakua a ultra vysokého vakua bez mazání čerpadel, schopnost dlouhodobého odsávání korozivních plynů, vysoká bezpečnost a dlouhá životnost díky ochraně ložisek s přesnými keramickými kuličkami a funkcí generující energii v případě náhlého vypnutí. Má výhody bez tření, znečištění a údržby a s nízkými vibracemi a lze jej instalovat v jakékoli orientaci.

Aplikace:

Extrakce korozivních plynů existujících v implantacích etch, CVD, PVD a iontů a plynů snadno koagulovatelných při normální teplotě v oblasti výroby polovodičů, výroby spon, průmyslového pokovování a vědeckých nástrojů, zejména.

Specifikace:

Modelka CXF-250/2301
Rychlost čerpadla (l/s, vzduch) 2200
Kompresní poměr > 1 × 107
Maximální vakuum (Pa) ≤2 × 10-7
Vstupní příruba DN250 ISO F
DN250 CF
Výstupní příruba KF 40
Rychlost otáčení (ot / min) 30000
Doba rozběhu (min) 8
VIB (mm) <0,05
Zpětné čerpadlo (L/s) 15
Montáž nebo zarážka Žádný
Způsob chlazení Voda
Hmotnost (kg) (s ovladačem) 58

  • Předchozí:
  • Další:

  • Sem napište svoji zprávu a pošlete nám ji

    Kategorie produktů